表面安装单向阀,CI 系列

CI 系列表面安装单向阀适用于模块化气体系统中的高纯及超高纯应用,产品体积小巧,能大幅节省安装空间,采用弹片结构可最大程度减少颗粒产生;阀体选用 316L SS、316L SS VAR  等优质材料并遵循 FC-03 超高纯工艺规范,氦气泄漏率≤1×10⁻⁹ std・cm³/s,密封性能与耐腐性优异,适配各类高纯气体系统的严苛使用要求。

特征

润湿部位经过 EP 处理,表面粗糙度不超过 Ra 0.13 μm (5 μin.)
最大工作压力:10 bar (145 psig)
多种端口形式可选
W形及C形密封形式可选

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